种类
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LED式反射型
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型号
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M-DW1
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中心测量距离
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45mm
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检测物体
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3英寸以上的半导体晶圆(注2)
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可对应检测面
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有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
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检测角度
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12.5±5°(注4)
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晶圆间距
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间距3mm以上时,可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
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适用晶圆盒
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SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒
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电源电压
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12〜24V DC±10% 脉动P-P10%以下
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消耗电流
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65mA以下
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输出
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NPN输出/PNP输出 可由切换开关选择
NPN开路集电极晶体管
・最大流入电流:100mA
・外加电压:30V DC以下(输出和0V之间)
・剩余电压:1V以下(流入电流为100mA时)
0.4V以下(流入电流为16mA时)
PNP开路集电极晶体管
・最大源电流:100mA
・外加电压:30V DC以下(输出和+V之间)
・剩余电压:1V以下(源电流为100mA时)
0.4V以下(源电流为16mA时)
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输出动作
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可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON
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短路保护
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装备(自动复位)
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反应时间
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500μs以下
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工作状态指示灯
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橙色LED(输出ON时亮起)
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稳定指示灯
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绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
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定时器功能
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装备约2ms固定断开延迟定时器 有效/无效切换式
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投光停止输入
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信号条件
・投光停止:断开或4〜8V
・投光:0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
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灵敏度切换输入
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信号条件
・输入OFF:断开或4〜8V
・输入ON :0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
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灵敏度设定
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背面教导:按本体灵敏度设定按钮运行
检测灵敏度切换:本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式
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环
境
性
能
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保护构造
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IP20(IEC)
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使用环境温度
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0〜+55℃(注意不可结露)、存储时:−10〜+70℃
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使用环境湿度
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35〜85%RH、存储时: 35〜85%RH
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使用环境照明度
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白炽灯:受光面照明度3,000lx以下、荧光灯:受光面照明度1,500lx以下
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耐电压
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AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间
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绝缘电阻
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所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
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耐振动
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频率10〜500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时
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耐冲击
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耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回
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投光元件
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LED(调制式)
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材质
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外壳:ABS及SUS301、透镜: 丙烯
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电缆
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0.15mm2 5芯橡皮电缆,长300mm
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电缆延长
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0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m
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重量
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本体重量:约75g
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